估算本征吸收技术中洁净区宽度的简捷方法

本文研究了在本征吸收技术中,硅片中氧外扩散后其浓度纵向分布的特点,提出了一种根据氧的外扩散时间来估算本征吸收技术中洁净区宽度的简捷方法。根据该方法能够很方便地估算出任意外扩散时间下的洁净区宽度,且在洁净区宽度小于20微米范围内,其结果与理论计算值之绝对误差小于1微米。