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纳米测量及纳米样板 被引量：11
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作者 蒋庄德 景蔚萱 《纳米技术与精密工程》 CAS CSCD 2004年第1期16-19,共4页
介绍了纳米测量系统的组成以及纳米样板的研究现状 .提出了两种制备纳米结构样板的方法 :Si基底上的原子力显微镜 (AFM )探针诱导阳极氧化工艺和Au膜上的AFM探针机械划刻工艺 .
关键词 计量学 原子力显微镜 纳米样板 探针诱导阳极氧化 机械划刻 线宽 直线度 平行度 纳米测量
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