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强冲击条件下MEMS封装可靠性有限元分析 被引量:10
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作者 崔九征 孙博 冯强 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第24期177-185,共9页
在强冲击载荷(104g或更高,g为重力加速度)作用下,弹载微电子机械系统(Micro electro-mechanical system,MEMS)(如陀螺仪或加速度计)及电子器件的封装和互连结构失效是影响整弹可靠性及其任务成功性的重要因素。利用有限元建模和动态响... 在强冲击载荷(104g或更高,g为重力加速度)作用下,弹载微电子机械系统(Micro electro-mechanical system,MEMS)(如陀螺仪或加速度计)及电子器件的封装和互连结构失效是影响整弹可靠性及其任务成功性的重要因素。利用有限元建模和动态响应仿真分析方法对强冲击条件下板级微电子机械系统封装结构的可靠性问题及其影响因素进行研究。有限元动态响应分析方法针对MEMS陀螺仪的典型封装结构——无引脚芯片载体进行。分析过程中焊点材料选取更接近工程实际的双线性随动硬化材料模型,详细分析相关敏感因素对焊点互连结构可靠性的影响,并给出提高封装结构可靠性的工程设计建议。 展开更多
关键词 微电子机械系统封装 强冲击 动态响应分析 可靠性 有限元
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MEMS封装中的封帽工艺技术 被引量:3
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作者 孙瑞花 郑宏宇 吝海峰 《微纳电子技术》 CAS 2007年第5期259-263,共5页
MEMS封装技术大多是从集成电路封装技术继承和发展而来,但MEMS器件自身有其特殊性,对封装技术也提出了更高的要求,如低湿,高真空,高气密性等。本文介绍了五种用于MEMS封装的封帽工艺技术,即平行缝焊、钎焊、激光焊接、超声焊接和胶粘封... MEMS封装技术大多是从集成电路封装技术继承和发展而来,但MEMS器件自身有其特殊性,对封装技术也提出了更高的要求,如低湿,高真空,高气密性等。本文介绍了五种用于MEMS封装的封帽工艺技术,即平行缝焊、钎焊、激光焊接、超声焊接和胶粘封帽。总结了不同封帽工艺的特点以及不同MEMS器件对封帽工艺的选择。本文还介绍了几种常用的吸附剂类型,针对吸附剂易于饱和问题,给出了封帽工艺解决方案,探讨了使用吸附剂、润滑剂控制封装内部环境的方法。 展开更多
关键词 微电子机械系统封装 封帽工艺 吸附剂 润滑剂
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基于MSP430的深海低功耗数据采集系统 被引量:10
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作者 杨微 秦华伟 《机电工程》 CAS 2009年第5期16-19,共4页
针对深水作业条件下对数据采集设备的特殊要求,提出了具有低功耗、高精度、耐高压特点的水下多通道数据采集器的设计方法。该系统采用MSP430F169作为核心微控制芯片,并通过精心的外围电路设计,实现了系统低功耗和高精度运行;同时通过对... 针对深水作业条件下对数据采集设备的特殊要求,提出了具有低功耗、高精度、耐高压特点的水下多通道数据采集器的设计方法。该系统采用MSP430F169作为核心微控制芯片,并通过精心的外围电路设计,实现了系统低功耗和高精度运行;同时通过对电路板机械封装,满足了水深3000 m高压环境下对系统的耐压防漏要求。高压仓试验结果表明,该数据采集系统采集到的数据稳定性能良好、精度高,机械封装设计能够满足深海密封防漏要求。 展开更多
关键词 数据采集器 低功耗 MSP430 深海 机械封装
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光纤光栅点式水压传感器的研制 被引量:1
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作者 李国华 《现代仪器》 2012年第1期38-39,43,共3页
光纤光栅点式水压传感器是应用光纤受外力变形时,射入光纤的紫外激光的波长会发生改变并被光栅反射回来原理,利用光栅变形传感器相对某一点水压力的瞬时压力值测试,扩展光纤光栅传感器的种类和应用。布喇格(Bragg)光纤光栅作为传感元件... 光纤光栅点式水压传感器是应用光纤受外力变形时,射入光纤的紫外激光的波长会发生改变并被光栅反射回来原理,利用光栅变形传感器相对某一点水压力的瞬时压力值测试,扩展光纤光栅传感器的种类和应用。布喇格(Bragg)光纤光栅作为传感元件具有灵敏度高、性能稳定、抗干扰能力强(完全不受强电磁信号的干扰)、体积小、寿命长、结构简单可靠等优点,具有极其广泛的应用前景。 展开更多
关键词 布喇格(Bragg)光纤光栅点式水压力传感器机械封装结构调试与标定
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Microstructure and properties of electronic packaging shell with high silicon carbide aluminum-base composites by semi-solid thixoforming
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作者 郭明海 刘俊友 +2 位作者 贾成厂 贾琪瑾 果世驹 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS 2014年第11期4053-4058,共6页
The electronic packaging shell with high silicon carbide aluminum-base composites was prepared by semi-solid thixoforming technique. The flow characteristic of the Si C particulate was analyzed. The microstructures of... The electronic packaging shell with high silicon carbide aluminum-base composites was prepared by semi-solid thixoforming technique. The flow characteristic of the Si C particulate was analyzed. The microstructures of different parts of the shell were observed by scanning electron microscopy and optical microscopy, and the thermophysical and mechanical properties of the shell were tested. The results show that there exists the segregation phenomenon between the Si C particulate and the liquid phase during thixoforming, the liquid phase flows from the shell, and the Si C particles accumulate at the bottom of the shell. The volume fraction of Si C decreases gradually from the bottom to the walls. Accordingly, the thermal conductivities of bottom center and walls are 178 and 164 W·m-1·K-1, the coefficients of thermal expansion(CTE) are 8.2×10-6 and 12.6×10-6 K-1, respectively. The flexural strength decreases slightly from 437 to 347 MPa. The microstructures and properties of the shell show gradient distribution. 展开更多
关键词 high silicon carbide aluminum-base composites electronic packaging semi-solid thixoforming thermal conductivity coefficient of thermal expansion
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高键合强度MEMS晶圆级金-金热压键合技术研究
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作者 田珍珍 付博 +2 位作者 李瑞 李慧娟 葛志鹏 《功能材料与器件学报》 CAS 2024年第1期42-47,共6页
金-金热压键合技术,由于对键合温度和键合表面的要求更低,在微电子机械(MEMS)器件的制造工艺中备受关注,特别是在MEMS晶圆级封装技术上优势突出。本报告提出了金-金热压键合方案,研究了键合工艺和表面活化处理对键合质量的影响;并进一... 金-金热压键合技术,由于对键合温度和键合表面的要求更低,在微电子机械(MEMS)器件的制造工艺中备受关注,特别是在MEMS晶圆级封装技术上优势突出。本报告提出了金-金热压键合方案,研究了键合工艺和表面活化处理对键合质量的影响;并进一步优化了键合工艺,通过剪切力测试评估晶圆的键合质量。测试结果表明,经过氧气等离子体处理20 s后,采用EVG501型键合机在340℃/2500N条件下键合20 min,可获得最大键合强度31.586 MPa。本报告的研究为MEMS器件晶圆级封装工艺提供了技术支撑。 展开更多
关键词 微电子机械晶圆级封装 金-金热压键合 高键合强度
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