加工中心自动换刀机构的维修技术及应用

介绍加工中心自动换刀机构在换刀过程中出现的故障及维修调整方法,结合实例,介绍换刀机构在执行伸缩、旋转动作时的维修调整步骤与检测方法。

新型国产8英寸半导体快速热处理设备

在半导体圆片生产工艺中，快速热处理(也称“热退火”)是半导体圆片经过注入工艺后必不可少的工序之一。半导体圆片快速热处理设备是半导体器件生产的关键设备之一。自从20世纪60年代初，离子注入技术作为新的半导体掺杂工艺以来，大大促进了半导体集成电路的发展。