干涉测量系统中杂散条纹影响的抑制

为了抑制杂散条纹的影响,提出了一种简单实用的单幅三表面干涉条纹傅里叶分析法,它根据三表面干涉时各个表面干涉的条纹调制度不同,从三表面干涉图的频谱中提取测试面的频谱,从而准确地恢复测试面的面形。模拟结果证明了该方法的有效性,准确度可以达到/λ1 000。实验表明:单幅三表面干涉条纹傅里叶分析法得到的面形形状与波长调谐时域傅里叶变化法和涂消光漆法得到的结果基本一致,PV值和RMS值与波长调谐时域傅里叶变化法相差分别为0.001λ和0.004λ,与涂消光漆法相差分别为0.042λ和0.019λ。通过7次单幅三表面干涉条纹傅里叶分析法测量,得到PV和RMS值的重复性分别为0.007 8λ和0.002 6λ。

基于Butterworth滤波和Haar小波变换的干涉图像齿面域分割

干涉图像中反映齿面形貌信息的齿面域被背景噪声包围,其分割精度对相位解包裹、图像配准等后续的处理步骤存在较大的影响,直接关系到最终测量结果的精度。针对齿面干涉图像边界存在杂散条纹的现象,通过分析齿面干涉条纹的分布规律,提出了一种结合Butterworth滤波和Haar小波的齿面域分割方法。最后,在本文实验条件下,通过与时域分割方法进行对比,该方法可以将齿面干涉图像的边界杂散条纹区域内解包裹相位值有错误的地方排除在有效测量区域外并且能够对其进行有效校正,证明了基于频域信息的分割方法能够有效地提高干涉图像齿面域分割的精度。