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激光清洗工艺在核岛安装中的应用
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作者 刘文先 郑军 +3 位作者 杨祥金 罗林 刘城 于天石 《集成电路应用》 2020年第4期74-75,共2页
基于激光设备、激光清洗的原理、激光清洗工艺参数和清洗质量,采用RCC-M体系分析清洗技术在核岛安装工程领域的可行性,指导清洗工艺在核岛安装中的应用,形成清洗工艺研究报告,并为新的清洗工艺引进核岛安装工程提供模型。
关键词 激光清洗工艺 RCC-M体系 核岛安装工程 杂质清洗
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