周期热流法测试金属及合金材料高导热系数可视化测试系统的研制

根据周期热流法测试原理,结合理论分析和实验测定,设计并开发了一套测试和计算金属及其合金高导热材料热物性参数的装置和软件。利用Visual Basic6.0的编程技术,并结合数据采集装置,实现了测试系统的数据自动采集及处理可视化功能。通过对几种金属及合金热物性参数实验测定的结果和文献值比较,发现最大误差不超过6.5%,测试结果可靠。

MEMS薄膜弹性模量及残余应力提取的数值算法

材料弹性模量、残余应力的在线提取,已成为MEMS领域中日益迫切的需要。文中首先简要介绍现有的一些主要的材料参数提取方法,然后提出了一种无需静电作用下两端固支梁吸合电压的显式解析表达式,而是利用决定静电作用固支梁弯曲挠度的微分方程直接计算吸合电压,再提取材料参数的算法。避免了在推导吸合电压的显式表达式过程中可能引入的误差,有利于保证材料参数测量的精度。模拟结果表明这种算法速度快、精度高,对实际应用有较好的参考价值。