菲涅耳区衍射光学束匀滑器件的设计

采用精细化设计方法 ,进行了菲涅耳区衍射光学束匀滑器件的设计 ,利用爬山 模拟退火混合优化算法 ,获得了真实的束匀滑分布 ,不仅控制了算法采样点上的光强分布 ,还控制了其他非采样点上的光强分布。优化得到的束匀滑器件的位相深度小于π ,易于后续加工。