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电子束曝光机束闸电路 被引量:1
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作者 张明 《微细加工技术》 2000年第4期6-8,35,共4页
介绍了一个输出电压为 1 0 4V ,开关时间为 34ns的电子束曝光机束闸电路。
关键词 曝光机 束闸电路 开关
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