等倾干涉条纹的数字化处理方法

文章全面介绍了用条纹中心法自动分析处理等倾干涉条纹的详细过程 ,它通过对图像的二值化、细化、修补、标记等步骤来完成 ,涉及了条纹中心线的提取、条纹缺陷的消除、条纹直径的获取等关键内容。

基于单幅干涉图的波前重构技术研究

条纹中心法是干涉测量技术中分析单幅干涉图的一种重要处理方法,该方法主要包括图像预处理、波前重构和样品表面形貌及参数的测量等三个部分。研究了条纹中心法的关键技术,特别是应用协方差矩阵法求解泽尼克多项式以进行波前重构的过程。提出了基于单幅干涉图自动波前重构的流程方法。最后应用该流程方法处理由泰曼-格林干涉系统采集的精密抛光铝制盘基片表面形成的一幅干涉图像。实验结果表明,该方法可以实现单幅干涉图的自动波前重构,干涉波前重构的拟合精度可达1.468 6×10^(-6)nm,还可以自动获得精密抛光铝制盘基片表面的形貌及参数。