BAW滤波器板上测试夹具设计

针对体声波(BAW)滤波器与测试仪器间接口形式不同而无法直接测试的问题,设计了一款BAW滤波器板上测试夹具。首先根据经验公式初步确定夹具介质基片厚度,并导入ADS中LineCacl工具,计算出夹具微带线长度、宽度的初始值;在ADS中建立TDR瞬态仿真电路,进行微带线阻抗不匹配研究,给出相应的解决方法,将初始设计的夹具结构参数导入ADS进行阻抗匹配复核;选用3款不同中心频率的BAW滤波器作为待测器件(DUT),分别进行了片上探针和板上夹具测试,并将同一滤波器测试结果的散射参数矩阵参量(S11、S12、S21、S22)曲线进行对比。对比结果表明,与片上测试相比,板上测试曲线略有偏移,但两者趋势一致;板上测试S12-S21曲线、S11-S22曲线吻合较好。板上测试结果可为后续去嵌入校准提供比较可靠的初始值。