激光板凸度检测系统传感器位置调节方法

分析激光板凸度检测原理,根据测量间隙参数的变化,建立检测系统传感器位置状态表,将系统中传感器的位置关系分为正间隙、有效负间隙、无效负间隙三类。三种关系下系统的测量范围分别为:1)4mm以上;2)0-4mm;3)不能测量。由此提出一种传感器位置调节方法,以位置状态表作为调节判据,运用伺服跟踪技术,在检测过程中使传感器自动处于最佳的位置关系,实现检测的智能化。差动式厚度试验表明,本方法具有高效、精确、自动化程度高的特点,位置调节精度达到±1μm。