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实时光学薄膜膜厚监控系统研究
被引量:
8
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作者
刘雄英
黄光周
于继荣
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第4期306-308,311,共4页
在光电极值法基础上采用一定的信号采集方法、数据处理和极值点判断算法,通过硬件电路和高级程序语言设计了膜厚监控系统。实验表明,该系统能够对光学薄膜镀制过程进行实时在线跟踪,以及对膜层厚度的准确控制。
关键词
光学薄膜
膜厚监控
极值点判断
下载PDF
职称材料
题名
实时光学薄膜膜厚监控系统研究
被引量:
8
1
作者
刘雄英
黄光周
于继荣
机构
华南理工大学电子与信息学院
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第4期306-308,311,共4页
基金
广东省重点科技攻关课题(No.2KB02402G)
文摘
在光电极值法基础上采用一定的信号采集方法、数据处理和极值点判断算法,通过硬件电路和高级程序语言设计了膜厚监控系统。实验表明,该系统能够对光学薄膜镀制过程进行实时在线跟踪,以及对膜层厚度的准确控制。
关键词
光学薄膜
膜厚监控
极值点判断
Keywords
Optical film, Monitor of film thickness, Judgment of maximum value
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
实时光学薄膜膜厚监控系统研究
刘雄英
黄光周
于继荣
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
8
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