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牺牲层腐蚀平面二维模拟与仿真
1
作者
李艳辉
李伟华
周再发
《电子器件》
EI
CAS
2005年第3期532-535,共4页
介绍了影响氢氟酸溶液腐蚀牺牲层速率的主要因素,阐述了一二阶联合模型以及这个模型的极坐标推广。详细讨论了极坐标扩散方程的数值求解算法,并对算法进行了适当的优化,利用C语言进行了计算机编程实现了对腐蚀过程的仿真最后给出腐蚀单...
介绍了影响氢氟酸溶液腐蚀牺牲层速率的主要因素,阐述了一二阶联合模型以及这个模型的极坐标推广。详细讨论了极坐标扩散方程的数值求解算法,并对算法进行了适当的优化,利用C语言进行了计算机编程实现了对腐蚀过程的仿真最后给出腐蚀单端开口结构腐蚀过程的仿真结果。
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关键词
牺牲层
腐蚀
极坐标腐蚀模型
腐蚀
前端浓度
腐蚀
速率
计算机仿真
下载PDF
职称材料
题名
牺牲层腐蚀平面二维模拟与仿真
1
作者
李艳辉
李伟华
周再发
机构
东南大学MEMS教育部重点实验室
出处
《电子器件》
EI
CAS
2005年第3期532-535,共4页
基金
国家杰出青年科学基金资助课题(50325519)
文摘
介绍了影响氢氟酸溶液腐蚀牺牲层速率的主要因素,阐述了一二阶联合模型以及这个模型的极坐标推广。详细讨论了极坐标扩散方程的数值求解算法,并对算法进行了适当的优化,利用C语言进行了计算机编程实现了对腐蚀过程的仿真最后给出腐蚀单端开口结构腐蚀过程的仿真结果。
关键词
牺牲层
腐蚀
极坐标腐蚀模型
腐蚀
前端浓度
腐蚀
速率
计算机仿真
Keywords
sacrificial layer etching
etching model of radial coordinate
concentration at etching front
etch rate, simulation with computer
分类号
TN407 [电子电信—微电子学与固体电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
牺牲层腐蚀平面二维模拟与仿真
李艳辉
李伟华
周再发
《电子器件》
EI
CAS
2005
0
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