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题名电子轰击型PSD器件的研究与应用
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作者
富丽晨
李野
姜德龙
端木庆铎
田景全
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机构
长春理工大学光电子技术研究所
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出处
《红外技术》
CSCD
北大核心
2003年第2期51-53,59,共4页
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文摘
首先介绍了新型半导体光电位敏器件 (PSD)的独特优点。同时根据极微弱光探测的应用需求 ,提出了电子轰击型新概念器件EBPSD ,研究了它的制作原理 ,并对已制出的器件进行了半导体增益测试 ,其结果是入射电子能量 2keV时增益大于 10 2 ;5keV时增益可达 10 3 ,证实了这种器件的优越性。还将 (EB PSD)器件和微通道板相结合 ,充分利用微通道板的高增益特性 ,提出了电子增益高达 10 8的MCP PSD管设计方案 ,并制出了样管 ,指出这种器件可用于低于 10
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关键词
PSD器件
电子轰击型器件
光子计数
极微弱光图像探测
位敏探测器
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Keywords
PSD device, electron bombing device, photon counting, very feeble light detection
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分类号
TN362
[电子电信—物理电子学]
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