极真空紫外波段Al离子发射光谱的分析和模拟

利用两台Nd：YAG激光器作用于放置在真空腔室中的铝靶,获得了Al等离子体的发射光谱,并对23-35nm波段范围内的光谱进行了理论分析.结果表明实验光谱中的分立谱线主要来自于Al 5＋-Al 8＋离子的2s-2p跃迁;同时利用碰撞辐射稳态模型计算分析了不同电荷态Al离子的离子丰度随电子温度、电子密度的演化关系;最后结合激发态粒子数布局满足归一化玻尔兹曼分布的假设,获得了不同等离子体参数条件下的理论光谱,通过与实验光谱的比较,确定了等离子体参数.