林尼克结构干涉测量系统误差分析

在应用林尼克结构干涉测量系统进行测量时,发现系统存在一个近似为二次曲面的测量误差。根据光学干涉系统的测量原理,分别对林尼克结构干涉测量系统的相移器误差、摄像机误差和光学系统误差进行了分析,确定光学系统误差是干涉测量系统的主要误差源,其中显微物镜焦点轴向误差是产生系统测量误差曲面的主要原因。以平面为实验测量样件,应用测量系统对参考光臂显微物镜的不同轴向位置进行了测量,通过分析测量结果验证了焦点轴向误差对系统测量误差的影响,并与理论结果进行了比较。

全光纤干涉系统在测量激光光谱结构特征中的应用

利用自制的全光纤干涉系统,对激光光谱结构特性所引起的干涉条纹幅度变化进行了理论分析和实验证明。首次将全 光纤干涉系统应用于激光光谱的结构分析领域,可能会导致出现一种新的激光光谱测量仪。

基于干涉显微原理的表面形貌测量系统

根据光学干涉显微法原理,设计开发了一套微纳结构表面形貌测量系统。该系统采用林尼克干涉显微镜,通过参考镜扫描的方法将扫描器与相移器集为一体,分别采用五步相移算法和基于采样定理的包络均方函数(SEST)算法实现相移干涉法(PSI)和垂直扫描干涉法(VSI)两种模式对微纳结构的表面形貌测量。为验证该系统性能,采用标准多刻线样板和标准台阶作为样件对VSI和PSI两种模式分别进行了测量实验。结果证明,该系统能够完成微纳结构表面形貌的快速精确测量,可以满足微电子、微机电系统中微纳结构的表面形貌测量要求。

Linnik偏振白光干涉微纳测量的关键技术研究

随着机械、电子、光学、材料和半导体等工业不断微型化、精密化的需求，开发的微纳米结构的三维形貌、表面膜厚、内部结构以及物理性质等特性对微纳米结构的研发和生产质量控制至关重要。因此，针对微纳米制造领域的三维非接触式测量系统及其技术的研究具有重要的学术价值和现实意义。

一种用于混凝土坝体温度测量的激光干涉仪

介绍了利用激光光纤干涉法测量混凝土坝体温度的测量原理、系统结构优化设计、试验结果及其分析。该系统利用激光干涉与光纤结合实现对坝体温度远距离多点高精度测量,克服了传统传感器单点测量、测温滞后、容易与被测介质发生化学反应、易受电磁干扰等缺点。实验结果表明其分辨力为0.01℃,测温范围为-50～120℃,为坝体温度测量提供了一种新的技术途径。

小型微/纳米级三坐标测量机的研制

介绍一套低成本小型三维坐标测量机的研制过程,作为微/纳米级超精密测量设备,整体机台结构采用花岗岩材料;X/Y轴的移动平台利用压电材料摩擦驱动与挠性变形原理,长短两行程可达25 mm范围及5 nm的微位移,藉自行研发的衍射干涉激光尺,位置回馈测量系统可具有0.025 nm的分辨率;测量探头在一般DVD光读取头的自动聚焦原理基础上改装,最佳分辨率可达2.5 nm.该雏形机适于测量微机电组件、微型器件及膜厚等.

三维表面轮廓的测量技术

简要介绍了用于三维表面轮廓测量的接触式和非接触式两种测量方法的优缺点 ,重点阐述了实体光栅法、正弦波相位调制法和白光相移干涉法三种非接触式测量方法的原理。提出了用白光相移干涉法进行三维表面轮廓测量应采用的系统结构和算法。

多点激光速度干涉仪

多点激光速度干涉仪李泽仁（中国工程物理研究院流体物理研究所成都６１０００３）多点激光速度干涉仪系统是在需要空间及时间同时分辨的应用基础上发展起来的，它不但保持了传统单点激光速度干涉仪的测试误差小、连续及非接触测量、可以监测任意反射表面等性能，还有如下...

其它

TN25 99031759用光纤做洛埃镜干涉实验=An experiment ofLloyd’s mirror interference with optical fibers[刊,中]/徐彦德,梁艺军,邓虎(哈尔滨工程大学物理部.黑龙江,哈尔滨(150001))//大学物理.—1998,17(2).-27-28介绍了一种用光纤作为点光源进行洛埃镜干涉实验的方法,给出了计算波长的公式,提高了测量精度。

非电量测量与设备

SPIE-Vol.4221 0305819SPIE 会议录,卷4221:光学测量与非破坏性检验:技术与应用=Proceedings of SPIE,Vol.4221:Optical mea-surement and nondestructive testing:Techniques and ap-plications[会,英]/COEMA-China Optics ＆ Optoelec-tronic Manufacturer’s Assodation.—468P.(E)本会议录收集了在北京召开的光学测量与非破坏性检验会议上发表的98篇论文,内容涉及二氧化碳激.光器,用神经网络测量立体视觉,温度传感中全息术与干涉量度学的应用,彩色编码光栅3维轮廓测量,基于空间相位映射的3维计算机系统,采用红外测量研究大气二氧化碳浓度,光纤传感系统对油污染测量,X