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柔性云母基底上的Ba_(0.77)Sr_(0.23)TiO_(3)铁电薄膜的制备与研究
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作者 韦春树 杨俊锋 +2 位作者 刘兴鹏 丁明建 彭一鸣 《电子元件与材料》 CAS 北大核心 2024年第7期830-834,844,共6页
利用脉冲激光沉积系统(Pulsed Laser Deposition,PLD)在柔性云母基底上制备了Ba_(0.77)Sr_(0.23)TiO_(3)(BST)铁电薄膜,并研究了薄膜的微观结构与电学性能。结果表明,所制备的BST薄膜呈现出(111)取向的单晶结构,表面粗糙度仅为1.96 nm。... 利用脉冲激光沉积系统(Pulsed Laser Deposition,PLD)在柔性云母基底上制备了Ba_(0.77)Sr_(0.23)TiO_(3)(BST)铁电薄膜,并研究了薄膜的微观结构与电学性能。结果表明,所制备的BST薄膜呈现出(111)取向的单晶结构,表面粗糙度仅为1.96 nm。BST铁电薄膜表现出良好的铁电性能,剩余极化值(2Pr)为6.46μC/cm^(2),最大极化值(2P_(max))为17.8μC/cm^(2),在经历1011次双极性开关循环后,仍能保持良好的铁电性能。对BST薄膜的I-V曲线进行线性拟合分析,揭示其电流转换机制为从低场强下的欧姆导电机制转变为高场强下的空间电荷限制电流效应(Space-Charge-Limited Current,SCLC)。这些结果可为柔性非易失性存储器件的研究提供一些新的思路。 展开更多
关键词 脉冲激光沉积法 柔性云母Ba_(0.77)Sr_(0.23)TiO_(3) 铁电薄膜
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生长条件对柔性钴铁氧体薄膜结构和磁性能的影响
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作者 孙桂儒 王威 +2 位作者 胡灵龙 张媛 李海波 《吉林师范大学学报(自然科学版)》 2021年第2期11-15,共5页
采用脉冲激光沉积法在柔性云母衬底上生长了钴铁氧体(CoFe_(2)O_(4),CFO)薄膜材料.利用X射线衍射、原子力显微镜和超导量子干涉仪对薄膜样品的结构、形貌和磁性进行了研究,讨论了在不同衬底温度和氧气压力下制备的CFO薄膜的结构与磁性... 采用脉冲激光沉积法在柔性云母衬底上生长了钴铁氧体(CoFe_(2)O_(4),CFO)薄膜材料.利用X射线衍射、原子力显微镜和超导量子干涉仪对薄膜样品的结构、形貌和磁性进行了研究,讨论了在不同衬底温度和氧气压力下制备的CFO薄膜的结构与磁性能差异.结果表明,在590~690℃温度区间与10~40 mT氧压区间内,650℃、30 mT条件下生长的CFO薄膜表面光滑平整,晶粒紧密排列,具有良好的铁磁性. 展开更多
关键词 钴铁氧体薄膜 柔性云母 脉冲激光沉积 结构 磁性
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