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基于电喷印集成制造阵列化嵌金属电极柔性微流体管道
被引量:
1
1
作者
吕孝峰
郭洪吉
+4 位作者
孙丽娜
杨婷
邹旿昊
仲亚
于海波
《中国科学:技术科学》
EI
CSCD
北大核心
2023年第4期525-535,共11页
微流控芯片在生物、化学、医学等领域受到了研究者们的广泛关注,尤其是含有金属电极的微流体管道在毛细电泳、电化学微量检测、生物医学工程和柔性电子领域具有广泛的需求前景.文章提出了一种简单按需制备阵列化嵌金属电极柔性微流体管...
微流控芯片在生物、化学、医学等领域受到了研究者们的广泛关注,尤其是含有金属电极的微流体管道在毛细电泳、电化学微量检测、生物医学工程和柔性电子领域具有广泛的需求前景.文章提出了一种简单按需制备阵列化嵌金属电极柔性微流体管道的方法.该方法基于电喷印直写技术并结合翻模和湿法刻蚀工艺,实现了嵌金属电极柔性微流体管道阵列的制备.首先,通过在线性转动接收基底上叠加直写聚乙烯醇(PVA)纤维,制备了可嵌入聚二甲基硅氧烷(PDMS)的表面光滑的线性凸起微结构(线宽为10~100μm,高宽比可大于1:2),并以此作为模板,实现了阵列化柔性微流体沟道的制造;其次,通过在平动接收基底上直写光刻胶作为保护层,并结合湿法刻蚀工艺,实现了在含有微流体沟道阵列的柔性基底上金属图案化导电电极(线宽低至5μm)的灵活制造;最后,对通入不同浓度盐溶液的微流体管道进行电学测试,验证了其管道的导通性和金属电极的导电性.结果表明:基于电喷印的集成制造流程可以灵活、简单、高效、低成本的按需加工阵列化嵌金属电极柔性微流体管道,有望应用在生物医学工程和柔性电子等领域.
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关键词
电喷印
柔性
微流体管道
无掩膜制造
柔性图案化金属电极
原文传递
题名
基于电喷印集成制造阵列化嵌金属电极柔性微流体管道
被引量:
1
1
作者
吕孝峰
郭洪吉
孙丽娜
杨婷
邹旿昊
仲亚
于海波
机构
东北大学机械工程与自动化学院
中国科学院沈阳自动化研究所
中国科学院机器人与智能制造创新研究院
中国科学院大学
出处
《中国科学:技术科学》
EI
CSCD
北大核心
2023年第4期525-535,共11页
基金
国家重点研发计划项目(编号:2018YFB1304904)
国家自然科学基金项目(批准号:91848201)资助。
文摘
微流控芯片在生物、化学、医学等领域受到了研究者们的广泛关注,尤其是含有金属电极的微流体管道在毛细电泳、电化学微量检测、生物医学工程和柔性电子领域具有广泛的需求前景.文章提出了一种简单按需制备阵列化嵌金属电极柔性微流体管道的方法.该方法基于电喷印直写技术并结合翻模和湿法刻蚀工艺,实现了嵌金属电极柔性微流体管道阵列的制备.首先,通过在线性转动接收基底上叠加直写聚乙烯醇(PVA)纤维,制备了可嵌入聚二甲基硅氧烷(PDMS)的表面光滑的线性凸起微结构(线宽为10~100μm,高宽比可大于1:2),并以此作为模板,实现了阵列化柔性微流体沟道的制造;其次,通过在平动接收基底上直写光刻胶作为保护层,并结合湿法刻蚀工艺,实现了在含有微流体沟道阵列的柔性基底上金属图案化导电电极(线宽低至5μm)的灵活制造;最后,对通入不同浓度盐溶液的微流体管道进行电学测试,验证了其管道的导通性和金属电极的导电性.结果表明:基于电喷印的集成制造流程可以灵活、简单、高效、低成本的按需加工阵列化嵌金属电极柔性微流体管道,有望应用在生物医学工程和柔性电子等领域.
关键词
电喷印
柔性
微流体管道
无掩膜制造
柔性图案化金属电极
Keywords
electrohydrodynamic jet printing
flexible microfluidic pipe
maskless fabrication
flexible patterned metal electrode
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
O646.5 [理学—物理化学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于电喷印集成制造阵列化嵌金属电极柔性微流体管道
吕孝峰
郭洪吉
孙丽娜
杨婷
邹旿昊
仲亚
于海波
《中国科学:技术科学》
EI
CSCD
北大核心
2023
1
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