基于压阻效应的陶瓷压力传感器

设计制作了一种基于压阻效应的陶瓷压力传感器,采用宜弯折柔性调理电路,体积小、稳定性好、宜封装集成。在不同温度、压强环境条件下,对传感器进行了系列实验测试,其满量程综合检测精度(线性、迟滞、重复性等)达到0.975%,完全符合压力传感器通用技术条件规定的综合误差要求,性能指标优良。加之陶瓷芯片具有耐腐蚀、抗磨损、成本低廉等优点,该传感器可被广泛应用在各种压力检测的场合。