柔性铰链机构与驱动器的耦合特性及精度分析

介绍了一种二维微位移工作台系统的工作原理 ,结合该工作台建立了柔性铰链机构与驱动器的机电耦合模型 ,利用卷积积分求出了其耦合响应 ,并分析了影响工作台定位精度的主要因素 。