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环保型柠檬酸盐体系镀铜工艺
被引量:
4
1
作者
陈海燕
冯伟莹
+1 位作者
张琛
李翠翠
《电镀与环保》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第6期1-4,共4页
采用安时-质量法、目测法、白光干涉轮廓仪和X射线衍射仪,考察了工艺条件对环保型柠檬酸盐体系镀铜工艺中电流效率、镀铜层外观形貌及晶体结构的影响。结果表明:镀液温度和搅拌方式对电流效率有比较明显的影响,而电流密度对电流效率影...
采用安时-质量法、目测法、白光干涉轮廓仪和X射线衍射仪,考察了工艺条件对环保型柠檬酸盐体系镀铜工艺中电流效率、镀铜层外观形貌及晶体结构的影响。结果表明:镀液温度和搅拌方式对电流效率有比较明显的影响,而电流密度对电流效率影响不大。在镀液温度45℃、电流密度3A/dm2、超声波搅拌的条件下,电流效率达到80.20%,可以得到表面比较平整、呈半光亮的镀铜层。镀铜层的XRD图谱中出现五个衍射峰——(111)、(200)、(220)、(311)、(222)。只改变搅拌方式对镀铜层的晶体结构影响不大。
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关键词
镀
铜
柠檬酸盐体系镀液
电流效率
外观形貌
晶体结构
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职称材料
题名
环保型柠檬酸盐体系镀铜工艺
被引量:
4
1
作者
陈海燕
冯伟莹
张琛
李翠翠
机构
中国环境科学研究院环境基准与风险评估国家重点实验室
出处
《电镀与环保》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第6期1-4,共4页
基金
国家自然科学基金项目(41630645
41521003
41703115)
文摘
采用安时-质量法、目测法、白光干涉轮廓仪和X射线衍射仪,考察了工艺条件对环保型柠檬酸盐体系镀铜工艺中电流效率、镀铜层外观形貌及晶体结构的影响。结果表明:镀液温度和搅拌方式对电流效率有比较明显的影响,而电流密度对电流效率影响不大。在镀液温度45℃、电流密度3A/dm2、超声波搅拌的条件下,电流效率达到80.20%,可以得到表面比较平整、呈半光亮的镀铜层。镀铜层的XRD图谱中出现五个衍射峰——(111)、(200)、(220)、(311)、(222)。只改变搅拌方式对镀铜层的晶体结构影响不大。
关键词
镀
铜
柠檬酸盐体系镀液
电流效率
外观形貌
晶体结构
Keywords
copper electroplating
citrate bath
current efficiency
appearance
crystal structure
分类号
TQ153 [化学工程—电化学工业]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
环保型柠檬酸盐体系镀铜工艺
陈海燕
冯伟莹
张琛
李翠翠
《电镀与环保》
CAS
CSCD
北大核心
2018
4
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