旋转磁控柱状弧源多弧离子镀膜机

本文介绍了旋转磁控柱状弧源多弧离子镀膜机的特点和所镀氮化钛膜的组织。

柱状弧源多弧离子镀膜机

文章介绍新型柱状阴极电弧源多弧离子镀膜机的结构特点和镀氮化钛涂层的效果。

真空镀膜技术的最新进展

本文介绍了旋转磁控溅射和电弧离子镀技术的最新进展。论述了旋转圆柱磁控溅射靶ＣＭａｇ、孪生磁控溅射靶Ｔｗ ｉｎＭａｇ 和旋转磁控柱状弧源的特性及其应用。本文还对Ｌｏｗ Ｅ膜和ＩＴＯ膜的制备工艺和设备进行了分析研究。