柱状薄膜型压电微电机的有限元模拟

通过对柱状薄膜型压电微电机致动机理的研究 ,运用有限元模拟进行模态分析。通过对定子固有频率以及机构尺寸的计算 ,为类似研究探讨提供一种行之有用的方法。