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真空干燥参数对TFT栅极光刻性能的影响
被引量:
3
1
作者
刘丹
黄晟
+9 位作者
黄中浩
刘毅
陈启超
吴旭
吴良东
闵泰烨
王灿
樊超
张淑芳
方亮
《半导体光电》
CAS
北大核心
2021年第4期504-510,共7页
液晶显示器薄膜晶体管(TFT)的栅极需经光刻工艺制得。在光刻工艺中,除曝光与显影环节外,光刻胶显影后的关键尺寸(DICD)和锥角(Taper)还受到真空干燥参数的影响。为此,文章以干燥制程的慢抽时间、保压时间和底压为自变量,DICD和Taper为...
液晶显示器薄膜晶体管(TFT)的栅极需经光刻工艺制得。在光刻工艺中,除曝光与显影环节外,光刻胶显影后的关键尺寸(DICD)和锥角(Taper)还受到真空干燥参数的影响。为此,文章以干燥制程的慢抽时间、保压时间和底压为自变量,DICD和Taper为因变量,采用全因子实验,研究了真空干燥制程对光刻胶DICD和Taper的影响。结果表明:慢抽时间和底压产生的影响较小,保压时间则是关键参数:随着保压时间增加,DICD增加、Taper降低。这是因为随着保压时间增加,光刻胶中的溶剂挥发总量增加,光刻胶更致密,显影速度下降,导致DICD增加;同时,光刻胶顶部溶剂挥发量增加,顶部感光剂浓度增加,导致顶部侧向显影程度增加,最终造成光刻胶Taper下降。此外,建立了DICD和Taper与保压时间的回归方程,可以预测光刻效果,或者由预期的光刻效果反推出所需的保压时间。此工作可为薄膜晶体管光刻产线的参数优化和产品良率提升提供参考。
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关键词
薄膜晶体管
栅极光刻
减压真空干燥
全因子实验
关键尺寸
坡度角
下载PDF
职称材料
电子管阴极和光刻栅极的高频脉冲等离子弧钎焊
被引量:
1
2
作者
阎久春
周玉生
+1 位作者
王小峰
徐云华
《焊接》
北大核心
1996年第7期10-12,共3页
采用高频脉冲微束等离子弧做为电子管阴极和光刻栅极装配钎焊工艺的热源,提高了钎缝质量和产品的可靠性.
关键词
电子管
微束等离子弧
钎焊
阴极
光刻
栅极
下载PDF
职称材料
题名
真空干燥参数对TFT栅极光刻性能的影响
被引量:
3
1
作者
刘丹
黄晟
黄中浩
刘毅
陈启超
吴旭
吴良东
闵泰烨
王灿
樊超
张淑芳
方亮
机构
重庆京东方光电科技有限公司
重庆大学物理学院
中国科学院大学重庆学院
重庆大学计算机学院
重庆电子工程职业学院
出处
《半导体光电》
CAS
北大核心
2021年第4期504-510,共7页
基金
重庆市自然科学基金项目(cstc2019jcyjmsxmX0566)
发光学及应用国家重点实验室开放课题项目(SKLA-2020-10)
重庆大学大型仪器设备开放基金项目(202103150005,202103150026)。
文摘
液晶显示器薄膜晶体管(TFT)的栅极需经光刻工艺制得。在光刻工艺中,除曝光与显影环节外,光刻胶显影后的关键尺寸(DICD)和锥角(Taper)还受到真空干燥参数的影响。为此,文章以干燥制程的慢抽时间、保压时间和底压为自变量,DICD和Taper为因变量,采用全因子实验,研究了真空干燥制程对光刻胶DICD和Taper的影响。结果表明:慢抽时间和底压产生的影响较小,保压时间则是关键参数:随着保压时间增加,DICD增加、Taper降低。这是因为随着保压时间增加,光刻胶中的溶剂挥发总量增加,光刻胶更致密,显影速度下降,导致DICD增加;同时,光刻胶顶部溶剂挥发量增加,顶部感光剂浓度增加,导致顶部侧向显影程度增加,最终造成光刻胶Taper下降。此外,建立了DICD和Taper与保压时间的回归方程,可以预测光刻效果,或者由预期的光刻效果反推出所需的保压时间。此工作可为薄膜晶体管光刻产线的参数优化和产品良率提升提供参考。
关键词
薄膜晶体管
栅极光刻
减压真空干燥
全因子实验
关键尺寸
坡度角
Keywords
thin film transistor
gate lithography
vacuum drying
full factor experiments
DICD
Taper
分类号
TN321.5 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
电子管阴极和光刻栅极的高频脉冲等离子弧钎焊
被引量:
1
2
作者
阎久春
周玉生
王小峰
徐云华
机构
哈尔滨工业大学
北京电子管厂
出处
《焊接》
北大核心
1996年第7期10-12,共3页
文摘
采用高频脉冲微束等离子弧做为电子管阴极和光刻栅极装配钎焊工艺的热源,提高了钎缝质量和产品的可靠性.
关键词
电子管
微束等离子弧
钎焊
阴极
光刻
栅极
分类号
TG456.2 [金属学及工艺—焊接]
TG454 [金属学及工艺—焊接]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
真空干燥参数对TFT栅极光刻性能的影响
刘丹
黄晟
黄中浩
刘毅
陈启超
吴旭
吴良东
闵泰烨
王灿
樊超
张淑芳
方亮
《半导体光电》
CAS
北大核心
2021
3
下载PDF
职称材料
2
电子管阴极和光刻栅极的高频脉冲等离子弧钎焊
阎久春
周玉生
王小峰
徐云华
《焊接》
北大核心
1996
1
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职称材料
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