248nm紫外显微镜微纳线宽校准方法的研究

248nm波长照明的紫外显微镜能够获得高达80nm的光学分辨率，可以实现对掩模板的线宽和一维／二维栅格参数的测量。作为测量仪器的248nm紫外显微镜需要对其进行校准。该显微镜测量范围在nm量级，校准使用400nm一维栅格标准物质，通过对仪器不确定度和标准物质自身不确定度的评估，得到采集图像每个像素的扩展不确定度为0．178nm，并给出了实际测量时的不确定度评价公式。