扫描电镜条件对不导电样品表面荷电现象的影响

利用扫描电镜对不锈钢板与玻璃板激光焊接样品不经镀膜直接进行显微观察。扫描电镜分别梯度设置一系列一次电子加速电压与E-T二次电子探测器前端栅网上的一系列偏压,观察样品表面荷电现象的变化。结果表明:在同样的加速电压下,上述栅网偏压越低,样品表面的荷电现象越弱,当栅网偏压降低至足够低时荷电现象消失。另外,在加速电压越低时,刚好足够令荷电现象消失的栅网偏压越高,此时电镜条件有利于图像质量的改善。对上述栅网偏压对荷电现象的影响机理给出了解释——栅网偏压影响探测器接收二次电子与背散射电子数量的比例,进而影响荷电现象的轻重。