用于扫描电镜图像放大倍率校准的三个微米级栅网图形标准样板的研究

本文是一篇有关用于扫描电镜图像放大倍率校准的三个微米级栅网图形标准样板的研究报告。这三个标准样板(G125、G250、G4)为铜质栅网网格,包含6个设计标称值分别为12.50μm(G125)、25.00μm(G250)、62.50μm、82.50μm、125.00μm、165.00μm(G4)的网格。样板已经过均匀性、稳定性检查并对栅网网格线距进行了检定。这三个标准栅网样板可有几个作用:(1)同时对两个垂直方向上的扫描电镜图像放大倍率进行检查或校准,是一组调整低倍图像放大倍率的图形标准样板;(2)对图像X、Y方向的畸变和边缘的畸变进行校验,是评价扫描电镜图像质量的一个重要工具;(3)用于同一量级物体长度的精确比对测量。