根据等倾干涉标准环直径测量平面度的理论探讨

从等倾干涉原理出发推导了标准干涉环直径D0的数学表达式和测量方法,并讨论D0在平晶平面度测量中的重要作用。结合实际的等倾干涉仪CCD成像系统,从理论上研究运用机器视觉技术测量D0变化进而探测空气层厚度细微变化(0.02μm)的可行性,并由此提出机器视觉运用于干涉计量领域应解决的通用性问题。

基于机器视觉与等倾干涉术的平面度测量装置

为实现平晶平面度的快速测量,运用机器视觉技术对等倾干涉仪进行改造。计算机对CCD采集的干涉图进行实时处理,再利用所有像素样本点(约4 000个)的最小二乘法同时拟合出多条干涉环直径并计算标准干涉环直径D0。对平晶表面不同的检定点,测量软件均能根据其实测D0值计算平面度。改造后的干涉仪不但显著提高了工作效率,且大大降低了劳动强度。