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转向SMIF的关键意义在于可满足低成本高效率的晶片生产需求
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《集成电路应用》 2004年第4期22-23,共2页
3月17日,在中国上海举行的2004年中国国际半导体设备与材料展览暨研讨会上,Asyst Technologies董事长兼首席执行官Stephen Schwartz将使中国的宏大计划—采用标准机械界面(SMIF)和自动化物料搬运系统(AMHS)技术创建高度自动化的200mm... 3月17日,在中国上海举行的2004年中国国际半导体设备与材料展览暨研讨会上,Asyst Technologies董事长兼首席执行官Stephen Schwartz将使中国的宏大计划—采用标准机械界面(SMIF)和自动化物料搬运系统(AMHS)技术创建高度自动化的200mm和300mm fab—闪亮登场。他说:“今年。 展开更多
关键词 SMIF 标准机械界面 芯片制造业 自动化物料搬运系统 成本
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