-
题名标准球面透镜的几何特性与误差分析
被引量:3
- 1
-
-
作者
袁群
季文
高志山
-
机构
南京理工大学电子工程与光电技术学院
-
出处
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2020年第4期857-867,共11页
-
基金
国家自然科学基金(U1931120)
国家重点研发计划(2019YFB2005500)。
-
文摘
标准球面透镜是斐索型干涉仪的核心器件,综述标准球面透镜的几何特性和误差。分析标准球面透镜在干涉照明光路和成像光路中的作用,重点介绍并实验验证了球面干涉成像的R-sinθ几何特性关系模型,给出了采用Q非球面实现非球面分裂的新型设计方法,以及2片式非球面标准球面透镜结构的实例,概述了针对小F数标准球面透镜球面干涉腔中的待测球面调整误差和移相空间非均匀性误差的研究成果,介绍了校正球面干涉腔中误差的波面差分算法,指出在近标准球面透镜焦点位置测量球面时的回程误差影响,从物像共轭关系角度解释了近焦点位置回程误差较大的原因,比对分析了标准球面透镜的透射波前与斜率对回程误差的影响。提出了在设计标准球面透镜时需注意的几何特性关系,以及使用标准球面透镜时易产生的误差和相应的抑制方法。
-
关键词
标准球面透镜
成像畸变
干涉腔
回程误差
-
Keywords
standard spherical lens
imaging distortion
interference cavity
retrace error
-
分类号
TN202
[电子电信—物理电子学]
TN206
[电子电信—物理电子学]
-
-
题名大口径标准球面镜组研制与应用
被引量:9
- 2
-
-
作者
薛栋林
-
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室
-
出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第6期281-286,共6页
-
基金
国家973计划(2011CB013205)
国家自然科学基金重点项目(61210015)
-
文摘
为了实现大口径凸面反射镜检测,研究了大口径标准镜组的设计与研制技术。针对口径Φ为350mm、焦距为4400mm的标准球面镜组,完成了标准镜头设计分析、面形和曲率半径误差标定以及系统集成与实验验证。光学设计软件模拟分析结果表明镜头设计波像差达到0.0001λ[峰谷值(PV),λ=632.8nm],该标准镜头参考球面标准镜面形加工精度达到0.088λ(PV,λ=632.8nm)、0.006λ[均方根(RMS),λ=632.8nm],某项目Φ为320mm、R为4092mm的碳化硅凸面反射镜最终加工检测结果达到0.102λ(PV,λ=632.8nm)、0.011λ(RMS,λ=632.8nm)。结果表明采用该大口径标准球面波透镜组为大口径长曲率半径凸面反射镜提供了一种高精度检测的手段,解决了大口径长曲率半径凸面反射镜检测难题,采用该标准球面镜结合基于数字样板的非零位检测方法也可完成浅度非球面或自由曲面面形实时高精度检测。
-
关键词
光学制造
大口径
标准球面透镜组
长曲率半径
高精度检测
-
Keywords
optical fabrication
large aperture
standard transmission spheres
large radius of curvature
highprecision testing
-
分类号
TQ171.65
[化学工程—玻璃工业]
O436.1
[机械工程—光学工程]
-