标准硅片波数定值及测量不确定度

建立标准硅片波数值的测定方法,并对波数值的测量结果进行不确定度评定。方法:以硅片作为样品,用精密拉曼光谱仪测量520cm^-1附近的拉曼散射信号,记录该峰位的相对波数值。建立数学模型,分析各不确定度分量引入的不确定度,评定波数值的测量不确定度。

非标硅片粘蜡技术研究

随着国际半导体工业的迅猛发展,标准尺寸硅片加工技术愈发成熟,加工设备自动化程度越来越高。但非标硅片的加工并没有相应的专业设备,其加工工艺也存在着极大的差异。以公司现有生产设备条件为基础,通过测量粘蜡后硅片的厚度,对比厚度值差异,寻找出较好的非标硅片粘蜡技术。