罗兰圆型二维集成凹面光栅的成像分析

利用标量波动衍射理论,通过对光栅槽面的数值积分,计算了罗兰圆型集成二维凹面光栅像点的光强分布.分析了工艺中的折射率偏差对光谱位置的影响,计算了光栅的色散和分辨力,并与几何光学的分析方法作了比较,分析了光栅的槽面数、光源的模场宽度以及因工艺产生的槽面圆角对光栅成像的影响;