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在扫描电镜上实现STEM模式的一种方法及应用 被引量：2
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作者 周固 陈晓波 《北京师范大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2013年第6期578-581,共4页
在扫描电子显微镜上实现STEM模式通常需要有一个扫描透射样品座和一个扫描透射信号的接收装置.本方法是在扫描电镜样品台上安装一个自行设计的安装薄样品的样品支架,利用扫描电镜内已有的二次电子检测器来检测扫描透射电子就可以实现STE... 在扫描电子显微镜上实现STEM模式通常需要有一个扫描透射样品座和一个扫描透射信号的接收装置.本方法是在扫描电镜样品台上安装一个自行设计的安装薄样品的样品支架,利用扫描电镜内已有的二次电子检测器来检测扫描透射电子就可以实现STEM明场像的观察和X射线能谱分析.该方法不需要在扫描电镜里另外加装透射信号接收装置. 展开更多
关键词 扫描透射模式 扫描电子显微镜 方法 样品支架
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