基于压电陶瓷管扫描器的大范围纳米定位系统

提出一种基于压电陶瓷管扫描器的X-Y二维大范围纳米级定位系统,该系统利用摩擦力和惯性使样品产生步进式的微位移。阐述了该系统的设计和工作原理,并给出了它在原子力显微镜中用于探针-样品间的定位控制的应用实例,取得了理想效果。

多探头扫描探针显微镜系统

虽然扫描探针显微镜具有高分辨率等优异性能 ,但不足之处也显而易见。较低的扫描和采样速度使工作效率不高。多探针或多探头的概念就是为提高扫描探针显微镜的工作效率而提出的。为了摸索多探头扫描探针显微镜的特点和解决半导体工业晶片检测的实际需求 ,我们设计了四探头SPM。本文主要介绍我们研制的四探头扫描探针显微镜系统 。