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基于SOI技术梁膜结合高过载压阻式加速度计研究 被引量：7
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作者 赵玉龙 赵立波 蒋庄德 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05B期2171-2173,2176,共4页
采用微型机械电子系统技术和集成电路工艺制作出了SOI技术高灵敏度的硅微固态压阻平膜芯片;通过动力学分析和有限元模拟,研制出了具有高过载保护功能的加速度传感器结构;通过玻璃粉烧结工艺将其键合在弹性梁的应力集中处,研制出量程为&#... 采用微型机械电子系统技术和集成电路工艺制作出了SOI技术高灵敏度的硅微固态压阻平膜芯片;通过动力学分析和有限元模拟,研制出了具有高过载保护功能的加速度传感器结构;通过玻璃粉烧结工艺将其键合在弹性梁的应力集中处,研制出量程为±2000g、过载能力为30倍满量程的高过载梁膜结合压阻式加速度计.加速度计具有较高的测量灵敏度和精度,满量程输出为126.97mV/2V,静态精度为0.86%FS. 展开更多
关键词 梁膜结合 SOI技术 压阻式 高过载 加速度计
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