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具有元素梯度的Cu_2ZnSnS_4薄膜
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作者 李晓亮 赵佳斌 +2 位作者 王吉宁 米菁 刘晓鹏 《佳木斯大学学报(自然科学版)》 CAS 2018年第3期406-409,共4页
Cu(In,Ga)Se_2(CIGS)吸收层中的In、Ga元素梯度使得吸收层形成梯度化的带隙结构,该结构能有效提高电池的短路电流(Jsc)和开路电压(Voc),进而优化电池光电转换效率。利用磁控溅射设备,通过控制靶材的溅射功率渐变来实现薄膜中金属元素的... Cu(In,Ga)Se_2(CIGS)吸收层中的In、Ga元素梯度使得吸收层形成梯度化的带隙结构,该结构能有效提高电池的短路电流(Jsc)和开路电压(Voc),进而优化电池光电转换效率。利用磁控溅射设备,通过控制靶材的溅射功率渐变来实现薄膜中金属元素的梯度分布,为梯度带隙结构CZTS薄膜太阳能电池提供实验研究依据。 展开更多
关键词 Cu2ZnSnS4薄膜 元素梯度 梯度带隙结构 磁控溅射
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新结构雪崩光探测器的特性仿真及后工艺优化
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作者 张帅 黄永清 +5 位作者 陶彦耘 张欣 宋海兰 任晓敏 王琦 黄辉 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2010年第4期501-506,共6页
报道了一种在倍增区引入AlxGa1-xAs带隙梯度结构的谐振腔增强型雪崩光探测器,并提出优化其后工艺制作的新方法。通过将Al0.4Ga0.6As(28nm)-Al0.2Ga0.8As(10nm)-GaAs(50nm)带隙梯度结引入雪崩探测器的高场区,可以实现对探测器噪声和频率... 报道了一种在倍增区引入AlxGa1-xAs带隙梯度结构的谐振腔增强型雪崩光探测器,并提出优化其后工艺制作的新方法。通过将Al0.4Ga0.6As(28nm)-Al0.2Ga0.8As(10nm)-GaAs(50nm)带隙梯度结引入雪崩探测器的高场区,可以实现对探测器噪声和频率响应两个主要性能的优化。数值仿真表明,该结构探测器具有较小的噪声(有效离化系数为0.1),约33GHz的3dB带宽(增益为5),在增益为15时可获得420GHz的增益带宽积。在实际的后工艺制作中,提出使用苯并环丁烯树脂进行InP/空气隙DBR反射镜与雪崩探测器结构粘合的方法,简化了工艺流程。 展开更多
关键词 雪崩光探测器 频率响应 过剩噪声因子 AlGaAs梯度结构 苯并环丁烯
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共溅射法制备Zn元素梯度分布Cu2ZnSnS4薄膜 被引量:1
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作者 赵佳斌 李晓亮 +2 位作者 王吉宁 米菁 刘晓鹏 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第12期1281-1286,共6页
Cu(In,Ga) Se2(CIGS)薄膜太阳能电池目前普遍采用具有In,Ga元素梯度的吸收层薄膜,这是由于吸收层中金属元素的梯度分布,使得吸收层形成梯度带隙结构,该结构会降低吸收层体内以及界面处的载流子再复合速率,有效提高电池的短路电流(Jsc),... Cu(In,Ga) Se2(CIGS)薄膜太阳能电池目前普遍采用具有In,Ga元素梯度的吸收层薄膜,这是由于吸收层中金属元素的梯度分布,使得吸收层形成梯度带隙结构,该结构会降低吸收层体内以及界面处的载流子再复合速率,有效提高电池的短路电流(Jsc),同时,宽带隙结构也有利于提升开路电压(Voc)。Cu2ZnSnS4(CZTS)是CIGS的优选替代材料,且CZTS薄膜电池与CIGS具有相似的结构,所以构建梯度结构可作为优化CZTS电池性能的有效手段,但是目前具有元素梯度的CZTS薄膜太阳能电池的报道仍极为匮乏。已有研究表明,CZTS的晶体结构对化学计量比有一定的容忍性,CZTS中金属元素含量的变化能影响材料的禁带宽度,这为梯度带隙结构CZTS薄膜的制备提供了可能性。鉴于此,本研究采用共溅射技术,通过控制靶材的溅射功率渐变来实现薄膜中金属元素的梯度分布,最终制备出具有元素梯度的CZTS吸收层薄膜。整个过程既不引入额外元素,工艺又相对简单可控,具有较强的可行性。 展开更多
关键词 Cu2ZnSnS4薄膜 元素梯度 梯度带隙结构 共溅射
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