梳状电极电容式SO_2气体传感器

二氧化硫气体传感器由一组梳状电极和做为电介质覆盖其上的 ,对二氧化硫敏感的有机改性硅酸酯薄膜组成 .梳状电极电容的基材为二氧化硅 ,铝电极以薄膜覆在其上 ,电极的厚度为 1 .6μm电极宽度和间隙为 1 5μm,电极的长度为 1 2 0 0μm,电极总数为 40 0个 .采用溶胶 -凝胶法和自旋涂覆技术形成气敏涂层 .在室温和 1 0 0 Hz,1 k Hz,1 0 k Hz下 ,测定了梳状电极电容器的电容 ,探讨了二氧化硫浓度 ,测量频率和涂膜厚度对传感器灵敏度的影响 .在本实验条件下 ,经有机改性的 N,N-二乙基氨丙基

有机敏感材料梳状电极电容式SO_2传感器的研究

煤燃烧产生的SO_2是大气污染的重要来源。化学传感器法是监测SO_2的实用方法之一,开发研制实时、原位监测SO_2的化学传感器,对于控制酸沉降十分必要。梳状电极电容式(IDC)SO_2传感器的原理是SO_2能够与有机物中的某些基团形成可逆的弱加合物,改变电介质的介电常数,使电容发生变化。可将对SO_2敏感的物质制成薄膜电容器,与一信号处理回路相连。当其暴露在一定浓度的SO_2气体中时,会导致IDC的电容发生变化。本文采用氧化硅片为基质制成IDC,用溶胶—凝胶技术将不同的有机敏感材料涂覆于其上,测定不同条件下的IDC的电容。得到此种电容的变化值与SO_2的浓度、敏感层的厚度的关系。

有机敏感材料梳状电极电容SO_(2)传感器研究

利用SO2能与有机物中的某些基团形成可逆的弱加和物、改变电介质的介电常数、使电容发生变化的特点，制备出新型SO2气体传感器.这种传感器对SO2的灵敏度和选择性较高，具有良好的再现性和稳定性，响应时间较短，具有广泛的应用前景.