表面微机械静电梳状驱动结构的研究

静电梳状驱动器（ＥＣＳ）是包括振荡器、微加速度计、微陀螺及微电动机等在内的微机电系统的核心组成部件，可作为执行器和传感器用。该文用表面微机械工艺研制出静电梳状驱动结构，在理论分析基础上，使用电容提取软件Ｆａｓｔｃａｐ和有限元分析软件Ａｌｇｏｒ进行了电学模拟和材料力学模拟，并针对灵敏度进行了优化设计。对表面微机械工艺的关键步骤进行研究和改进。释放成功的悬臂梁长度超过２００μｍ。初步电测试结果表明静电梳状驱动器工作正常。

硅微机械陀螺仪的新进展及其方案分析

介绍了国外硅微机械陀螺仪的新进展，综述了梳状驱动振动陀螺仪、压电棒式振动陀螺仪、电磁驱动音叉陀螺仪、振环陀螺仪、静电悬浮转于陀螺仗和微机械加速度计陀螺仪的结构、原理及性能。

单晶硅微构件力学特性片上测试系统

设计一种集成静电梳状驱动器和测试结构,专用于单晶硅微构件断裂、疲劳性能测试的片上测试系统。详细介绍测试系统的结构和工作原理。对静电梳状驱动器的驱动电压—驱动力关系、结构刚度以及谐振频率进行计算。利用MEMS(microelectromechanicalsystem)体硅工艺制造该测试系统,加工得到的测试系统在显微镜工作台上进行静态和动态弯曲实验,并将实验结果与ANSYS分析结果进行对比。结果表明,该测试系统性能稳定,能够实现对单晶硅微构件的弯曲断裂和疲劳测试。