微机械梳状驱动音叉陀螺的误差源研究

定性地讨论了微机械梳状驱动音叉陀螺特有的一些误差源，主要有微机械结构的 Ｂｒｏｗ ｎｉａｎ 噪声、电路噪声、机械耦合误差及电子机械耦合误差等。对上述误差源的认识是微结构制造和电路设计的基础。

微机械梳状驱动陀螺仪的理论分析

在导出静电驱动力表达式的基础上，论述微机械梳状驱动陀螺仪的工作原理和动力学方程，并说明了陀螺仪参数对测量灵敏度的影响．

计及边缘效应的非平行梳状驱动器的静电力计算

为准确计算梳状驱动器的静电力,针对非平行静电梳状驱动方式以及实际静电致动微机械器件电容边缘效应不可忽略的特点,进一步推导出忽略边缘效应的非平行静电梳状驱动器静电力计算式,并给出计及边缘效应的梳状驱动器以及非平行梳状驱动器静电力计算公式。采用有限元方法的三维仿真结果表明,对于不满足平行板电容器简化计算条件的模型,计及边缘效应的计算式具有更好的准确性。

表面微机械静电梳状驱动结构的研究

静电梳状驱动器（ＥＣＳ）是包括振荡器、微加速度计、微陀螺及微电动机等在内的微机电系统的核心组成部件，可作为执行器和传感器用。该文用表面微机械工艺研制出静电梳状驱动结构，在理论分析基础上，使用电容提取软件Ｆａｓｔｃａｐ和有限元分析软件Ａｌｇｏｒ进行了电学模拟和材料力学模拟，并针对灵敏度进行了优化设计。对表面微机械工艺的关键步骤进行研究和改进。释放成功的悬臂梁长度超过２００μｍ。初步电测试结果表明静电梳状驱动器工作正常。

硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪工作的微分方程模型

详细介绍了硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪的工作原理,给出了硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪的结构示意图.应用牵连运动的加速度合成定理,通过严格的力学分析和严密的数学演算得到了硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪的活动质量的加速度表达式.并应用力学牛顿定律推导了硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪的一个微分方程数学模型.并对数学模型进行了求解,最后利用方程的解分析了硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪的基本工作规律.

MEMS光开关的静电驱动技术

本文主要介绍MEMS光开关4种静电驱动的不同结构,及其各自在光开关性能上的优势与不足,这对MEMS光开关的设计研究具有参考价值。

单晶硅微构件力学特性片上测试系统

设计一种集成静电梳状驱动器和测试结构,专用于单晶硅微构件断裂、疲劳性能测试的片上测试系统。详细介绍测试系统的结构和工作原理。对静电梳状驱动器的驱动电压—驱动力关系、结构刚度以及谐振频率进行计算。利用MEMS(microelectromechanicalsystem)体硅工艺制造该测试系统,加工得到的测试系统在显微镜工作台上进行静态和动态弯曲实验,并将实验结果与ANSYS分析结果进行对比。结果表明,该测试系统性能稳定,能够实现对单晶硅微构件的弯曲断裂和疲劳测试。

基于谐振原理的硅微薄膜弯曲疲劳装置的设计

根据梳状驱动器原理设计了一种静电力驱动的硅微薄膜弯曲疲劳试验装置,所设计的装置可以由微机电系统表面牺牲层标准工艺制作加工。对所设计疲劳试验装置的圆弧梳状驱动器电容及静电驱动力进行了理论分析,并在此基础上采用有限元分析软件ANSYS对装置进行了模态分析与简谐分析。分析结果表明:当所施加的交流电压频率与结构的一阶固有频率相等时,试样在其缺口根部取得最大应力值,该应力值与所加交直流电压乘积的大小成线性关系,利用该关系式可对试验所需电压值进行预测。有限元分析和制造结果观测表明,所设计的装置符合微机械疲劳试验要求。

基于谐振原理的微机械疲劳试验装置的研究

设计出一种基于梳状驱动器原理的静电力驱动的微机械疲劳试验装置,该装置可由典型的表面牺牲层标准工艺制作。对所设计的MEMS(micro-electro-mechanical system)疲劳试验装置中的圆弧梳状驱动器的电容及静电驱动力进行理论分析,并采用ANSYS机电耦合单元对装置的振动过程进行模拟,模拟结果与理论分析相吻合。研究结果表明在一定范围交流电压的驱动下试样能达到MEMS疲劳测试所要求的应力水平,并对该电压范围进行预测。

硅微机械陀螺仪的新进展及其方案分析

介绍了国外硅微机械陀螺仪的新进展，综述了梳状驱动振动陀螺仪、压电棒式振动陀螺仪、电磁驱动音叉陀螺仪、振环陀螺仪、静电悬浮转于陀螺仗和微机械加速度计陀螺仪的结构、原理及性能。

改进型振动轮式硅微机械陀螺仪的研究

以Ｗ．Ｇｅｉｇｅｒ提出的改进型振动轮式微机械陀螺仪为研究对象，分析了结构参数其性能之间的内在联系，探讨了重力极及静电服力对它螺仪工作性能的影响，并以此为依据，提出音叉式驱动器叉指结构最佳间距的设计准则。

桑迪亚制出世界上第一个金刚石微机械

美国桑迪亚国家实验室由非晶金刚石表面腐蚀制出了据信是世界上第一个微机械——金刚石梳状驱动(器)，1mm^2器件有2排金刚石梳(制作在一平的表面上)，齿间有一定间距。一排“梳”向下栓接，另一排可在一封闭弹簧内自由移动。一金刚石“杆”连接在可移动梳的脊上。当正负电压周期性重复加到“梳”上时，齿就重复地连接、推开，这就使“梳”向前?后移动并作功，就像驱动一个齿轮或活塞。