万能工具显微镜示值误差检定方法的误差分析

一、检定方法:检定万能工具显微镜示值误差是用检定极限误差不大于0.5μm的200毫米标准玻璃刻度尺来检定。检定时,移动仪器纵向滑板,使毫米刻度尺处于零位。将标准玻璃刻度尺放在仪器工作台的中间位置上,它的刻线面背着物镜。在主显微镜上安装轮廓目镜。调整工作台,使标准玻璃刻度尺平行于滑板移动方向,微调滑板,使玻璃刻度尺的零刻线影像与轮廓目镜视场中的双线对准,并按读数装置进行读数。然后依次地每移动滑板25mm,使玻璃刻度尺的相应刻线影像与轮廓目镜中的双线对准,并依次地按读数装置进行读数。每点均应进行四次对准和读数,取其平均值作为该点的读数值,各点上的误差δ_i按下式计算: