椭圆偏振光谱法教学中的解谱建模渗透

利用椭偏光谱技术可以快速准确地获得薄膜的厚度、光学常数等信息,在材料学本科及研究生相关专业的教学中占有重要地位.但教学中大多注重理论原理分析,而对于椭偏解谱建模较少涉及.本文较全面地介绍了解谱中常用的各种模型并详细阐述了各自的适用范围,进一步通过应用实例系统研究了椭偏解谱建模的方法和技巧.

光电子材料铝镓铟磷的椭偏研究

在室温下 ,运用反射椭偏光谱技术 ,对生长在砷化镓上的铝镓铟磷以及铝镓铟磷 (掺硅 )两样品进行了研究 .测得它们在可见光区的光学常数 ,求得吸收系数、介电函数随光子能量的变化关系 .对样品的介电函数虚部谱进行数值微分 ,得到它们的三级微商谱 .通过对样品的吸收系数谱和介电函数虚部的三级微商谱的分析 ,得到两样品的带隙Eg,Eg+Δ0 和Eg 以上成对结构跃迁的能量位置及间隔 .将Eg 和Eg+Δ0 的值与计算值和已发表的值比较 ,符合较好 ,但存在小的差异 .分析发现 ,样品存在有序结构是引起差异的主要原因 .根据椭偏测量的数据 ,用有效介质近似理论计算了样品中铝的组分 ,并与X射线微区分析的测量结果加以比较 ,二者一致 .

薄膜光学 光学薄膜参数测试

O484．5 2005064326 衬底温度对微晶硅薄膜沉积与结构特征的影响=Influence of substrate temperature on the deposition of μc-Si:H thin film fabricated with VHF-PECVD and its structural properties[刊,中]/杨恢东(暨南大学电子工程系．广东,广 州(510632))∥光电子·激光．-2005,16(6)．