TH742.9 2001042954椭偏光学显微成像系统中的图像采集及处理技术=Technique of image collecting and processing in ellipsometricimaging sysetms[刊,中]/孟永宏,靳刚(中科院力学研究所.北京(100080))//光学精密工程.-2000,8(4).-316...TH742.9 2001042954椭偏光学显微成像系统中的图像采集及处理技术=Technique of image collecting and processing in ellipsometricimaging sysetms[刊,中]/孟永宏,靳刚(中科院力学研究所.北京(100080))//光学精密工程.-2000,8(4).-316-320针对椭偏光学显微成像系统及其成像特点,提出了扩展图像量化等级法、快速采样-时间积分法和多采样点平均法以改善椭偏成像质量和样品表面定量分析的可靠性,给出了理论分析及实验结果。图3参8(任延同)展开更多
文摘TH742.9 2001042954椭偏光学显微成像系统中的图像采集及处理技术=Technique of image collecting and processing in ellipsometricimaging sysetms[刊,中]/孟永宏,靳刚(中科院力学研究所.北京(100080))//光学精密工程.-2000,8(4).-316-320针对椭偏光学显微成像系统及其成像特点,提出了扩展图像量化等级法、快速采样-时间积分法和多采样点平均法以改善椭偏成像质量和样品表面定量分析的可靠性,给出了理论分析及实验结果。图3参8(任延同)