非常快速模拟退火算法在椭偏数据处理中的应用及其改进策略研究

对比模拟退火算法介绍了非常快速模拟退火算法的流程,并使用非常模拟退火算法计算了椭偏数据。计算结果证明非常模拟退火算法的计算精度有所提高。然后分析了算法的退火计划和模型扰动,提出了算法的改进策略。

类金刚石薄膜光学参数反演的改进遗传算法

椭偏法测试薄膜不能直接得到薄膜的光学参数,需进行数值反演算法近似求解。采用遗传算法,借鉴竞争选择、小生境和适应值调节思想,对选择算子、变异算子、交叉算子三个重要算子进行了适当改进,改进后算法有效防止了"早熟"现象,并搜索到了全局最优,降低了操作者对拟合模型设定初值的要求。在实践上,通过3种拟合方式的结果对比,得到了可靠的某条件下制备的类金刚石薄膜的光学常数,验证了改进遗传算法在拟合薄膜光学常数中的有效性。