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非常快速模拟退火算法在椭偏数据处理中的应用及其改进策略研究
被引量:
3
1
作者
张建春
朱石沙
+1 位作者
刘奇元
王启新
《现代机械》
2005年第5期26-28,共3页
对比模拟退火算法介绍了非常快速模拟退火算法的流程,并使用非常模拟退火算法计算了椭偏数据。计算结果证明非常模拟退火算法的计算精度有所提高。然后分析了算法的退火计划和模型扰动,提出了算法的改进策略。
关键词
非常快速模拟退火算法(VFSA)
椭偏数据反演
退火计划
模型扰动
模拟退火算法
策略研究
数据
处理
应用
计算精度
模型扰动
计算结果
改进策略
下载PDF
职称材料
类金刚石薄膜光学参数反演的改进遗传算法
2
作者
李建超
苏俊宏
徐均琪
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2011年第3期6-10,共5页
椭偏法测试薄膜不能直接得到薄膜的光学参数,需进行数值反演算法近似求解。采用遗传算法,借鉴竞争选择、小生境和适应值调节思想,对选择算子、变异算子、交叉算子三个重要算子进行了适当改进,改进后算法有效防止了"早熟"现象...
椭偏法测试薄膜不能直接得到薄膜的光学参数,需进行数值反演算法近似求解。采用遗传算法,借鉴竞争选择、小生境和适应值调节思想,对选择算子、变异算子、交叉算子三个重要算子进行了适当改进,改进后算法有效防止了"早熟"现象,并搜索到了全局最优,降低了操作者对拟合模型设定初值的要求。在实践上,通过3种拟合方式的结果对比,得到了可靠的某条件下制备的类金刚石薄膜的光学常数,验证了改进遗传算法在拟合薄膜光学常数中的有效性。
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关键词
薄膜
类金刚石(DLC)薄膜
光学常数
改进遗传算法
椭偏数据反演
原文传递
题名
非常快速模拟退火算法在椭偏数据处理中的应用及其改进策略研究
被引量:
3
1
作者
张建春
朱石沙
刘奇元
王启新
机构
湘潭大学机械工程学院
出处
《现代机械》
2005年第5期26-28,共3页
文摘
对比模拟退火算法介绍了非常快速模拟退火算法的流程,并使用非常模拟退火算法计算了椭偏数据。计算结果证明非常模拟退火算法的计算精度有所提高。然后分析了算法的退火计划和模型扰动,提出了算法的改进策略。
关键词
非常快速模拟退火算法(VFSA)
椭偏数据反演
退火计划
模型扰动
模拟退火算法
策略研究
数据
处理
应用
计算精度
模型扰动
计算结果
改进策略
Keywords
very fast simulated annealing algorithm
ellipsometry data computing
annealing scheme
model perturbation
分类号
TP274.2 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
O224 [理学—运筹学与控制论]
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职称材料
题名
类金刚石薄膜光学参数反演的改进遗传算法
2
作者
李建超
苏俊宏
徐均琪
机构
西安工业大学光电工程学院
出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2011年第3期6-10,共5页
文摘
椭偏法测试薄膜不能直接得到薄膜的光学参数,需进行数值反演算法近似求解。采用遗传算法,借鉴竞争选择、小生境和适应值调节思想,对选择算子、变异算子、交叉算子三个重要算子进行了适当改进,改进后算法有效防止了"早熟"现象,并搜索到了全局最优,降低了操作者对拟合模型设定初值的要求。在实践上,通过3种拟合方式的结果对比,得到了可靠的某条件下制备的类金刚石薄膜的光学常数,验证了改进遗传算法在拟合薄膜光学常数中的有效性。
关键词
薄膜
类金刚石(DLC)薄膜
光学常数
改进遗传算法
椭偏数据反演
Keywords
films
diamond-like carbon
optical constants
improved genetic algorithm
ellipsometric data inversion
分类号
O484.5 [理学—固体物理]
TN29 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
非常快速模拟退火算法在椭偏数据处理中的应用及其改进策略研究
张建春
朱石沙
刘奇元
王启新
《现代机械》
2005
3
下载PDF
职称材料
2
类金刚石薄膜光学参数反演的改进遗传算法
李建超
苏俊宏
徐均琪
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2011
0
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