紫外可见吸收光谱仪与椭偏测厚仪联用测量透明光电子薄膜的厚度

采用椭偏测厚仪测量薄膜的折射率，用来修正紫外可见吸收光谱仪极值法测量膜厚的数据。通过制备掺铝氧化锌（ZAO）薄膜及SEM断口观察进行实验验证。证实该修正方法有助于提高膜厚测量精度。联用这2种常规仪器，可以方便地获得0～20μm宽范围的透明光电子薄膜的厚度。数据采集与处理简单快捷，可满足大部分薄膜工艺研究和生产的需要。

椭偏测厚仪测量结果的计算机数据处理

介绍利用椭偏法测量单层透明薄膜折射率和厚度的方法。采用数字迭代计算方法 ,由测量得到的起偏角和检偏角可直接算出所测薄膜的折射率和厚度。经过数值试验及与标准值比对 ,由此编制的计算程序具有准确、快速、方便的特点。经实际使用 ,计算出的厚度值误差较小。

椭偏测厚仪确定薄膜真实厚度的分析

用椭偏测厚仪可以测量薄膜一个周期内的厚度和折射率.本文从理论上分析了采用变入射角确定薄膜的真实厚度时,存在最大可测厚度周期数和最大可测薄膜真实厚度,同时用图形形象描述了周期数、厚度周期、一个周期内的厚度、真实厚度之间的关系及它们与入射角的关系.

椭偏测厚仪测量结果的计算机数据处理

本文详尽介绍了椭偏术测量单层透明薄膜折射率和厚度的方法 ,采用一种数字迭代计算方法 ,由测量得到的起偏角A和检偏角P直接算出所测薄膜的折射率和厚度。经过数值试验及与标准值比对 ,由此编制的计算程序具有准确 ,快速 。

高校椭偏测厚实验的计算机辅助教学

分析了高校椭偏测厚实验中存在的问题 ,成功研制出具有教学特点的多功能智能椭偏测厚仪和编制了一套该实验的CAI课件 .实践表明 :椭偏测厚实验的计算机辅助教学效果良好 .