C语言在椭圆偏振测厚技术计算中的应用

依据椭圆偏振法测定透明薄膜的有关数据 ,运用C程序语言 ,通过迭代程序设计 ,由计算机同时计算出薄膜厚度和折射率 结果表明 :薄膜折射率和厚度的测定误差分别小于 0 .2 %和 1nm 并克服了TP - 77型椭偏仪只能用于n≤ 2 .6透明材料测定的限制 ,实现了对诸如多晶硅等薄膜厚度和折射率的精确测定 。