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模块化组合设备的晶圆加工过程建模研究 被引量:2
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作者 苏平 伍乃骐 于兆勤 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第11期1307-1311,共5页
晶圆加工过程中使用的模块化组合设备具有可重构性,设备配置的复杂程度由晶圆加工工艺方案决定,针对这一特点,研究了晶圆加工系统的Petri网建模问题。对晶圆加工模块化组合设备的加工流程进行了分析,给出了描述晶圆加工过程的时间Petri... 晶圆加工过程中使用的模块化组合设备具有可重构性,设备配置的复杂程度由晶圆加工工艺方案决定,针对这一特点,研究了晶圆加工系统的Petri网建模问题。对晶圆加工模块化组合设备的加工流程进行了分析,给出了描述晶圆加工过程的时间Petri网模型。为避免Petri网模型随着设备复杂程度的增加而迅速膨胀,通过对系统运行特点的分析,建立了着色时间Petri网模型,网中节点数为常数值,与设备的复杂程度无关。从满足晶圆加工时间约束的角度,给出了带有时序控制器的着色时间Petri网模型,该模型有助于研究复杂制造系统的动态行为和生产过程控制。 展开更多
关键词 模块化组合设备 晶圆加工 建模 着色时间Petri网
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风光储电站模块化二次组合设备配置及应用
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作者 丁杨杨 《中文科技期刊数据库(文摘版)工程技术》 2024年第9期0043-0046,共4页
风光储电站模块化二次组合设备配置及应用是当前电力系统建设的重要方向之一。在设计风光储电站二次系统时,应遵循设备集成、网络优化、功能整合、组柜布置优化的原则,并采用模块化建设理念,以满足工业化应用要求。本文以全户内站的电... 风光储电站模块化二次组合设备配置及应用是当前电力系统建设的重要方向之一。在设计风光储电站二次系统时,应遵循设备集成、网络优化、功能整合、组柜布置优化的原则,并采用模块化建设理念,以满足工业化应用要求。本文以全户内站的电气一、二次设备为例,采用预制光电缆、预制式二次组合设备、预制式智能控制柜等模块化二次组合设备,并应用先进的技术和方法对二次设备模块化进行全方位考量。提出一体化电源系统、一体化监控系统、通信设备以及GIS设备的模块化方案,获得节省空间、简化安装接线等一系列优势。 展开更多
关键词 风光储电站 模块二次组合设备 预制光电缆 智能控制柜 一体系统
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茶机产品的模块化设计
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作者 赵祖光 《中国茶叶加工》 2013年第2期42-43,37,共3页
产品模块化设计可以优质、高效,最大限度地满足不同用户的要求,已在很多种机械设计中广泛应用。茶机产品的模块化设计就是对茶机单机和流水线等的通用设备及工序组合进行模块化设计,通过模块的组合配置和互换重用,以适应不同茶类的加工... 产品模块化设计可以优质、高效,最大限度地满足不同用户的要求,已在很多种机械设计中广泛应用。茶机产品的模块化设计就是对茶机单机和流水线等的通用设备及工序组合进行模块化设计,通过模块的组合配置和互换重用,以适应不同茶类的加工工艺,较好地解决了茶业市场多样化需求,以少变应多变,提高了产品的优化性,减少工时,节省投资,使茶机生产者和茶机使用者都能获得便利。茶机产品的模块化设计是茶机设计发展的方向,需要建立专门的设计标准,进行全面推广。 展开更多
关键词 茶机 模块设计 通用设备 工序组合
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