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题名低频小型化兰姆波谐振器的研究
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作者
叶昶裕
肖强
陈正林
董加和
米佳
鲍景富
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机构
电子科技大学集成电路科学与工程学院
中国电子科技集团公司第二十六研究所
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出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2024年第2期174-178,183,共6页
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基金
国家自然科学基金资助项目(U1430102)。
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文摘
针对低频声学器件的小型化、大带宽问题,该文基于Y切-铌酸锂压电薄膜激发了反对称A0兰姆波模式,并采用有限元法对A0模式进行了结构设计与理论分析。研究了铌酸锂切型、电极材料、金属化比及膜层厚度变化对声速和机电耦合系数等性能的影响。结果表明,特定结构下,与常规声表面波相比,A0模式兰姆波声速较小,机电耦合系数较大,有利于低频声学滤波器小型化设计。通过研究不同结构对谐振器A0模式兰姆波的横向模态的影响,实现了杂波抑制。
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关键词
低频小型化
谐振器
兰姆波
铌酸锂
横向模态抑制
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Keywords
low-frequency miniaturization
resonator
Lamb wave
lithium niobate
transverse mode suppression
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分类号
TN64
[电子电信—电路与系统]
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