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C波段横向激励薄膜体声波谐振器设计与制备
1
作者
吴高米
马晋毅
+5 位作者
李尚志
司美菊
唐小龙
蒋世义
江洪敏
张祖伟
《压电与声光》
CAS
北大核心
2024年第3期285-289,共5页
针对未来移动通信对射频前端器件提出的多频率、高集成新要求,开展了兼具声表面波(SAW)谐振器和薄膜体声波谐振器(FBAR)技术特点的新型横向激励兰姆波谐振器研究。该文介绍了基于c轴择优取向氮化铝(AlN)压电薄膜的C波段横向激励薄膜体...
针对未来移动通信对射频前端器件提出的多频率、高集成新要求,开展了兼具声表面波(SAW)谐振器和薄膜体声波谐振器(FBAR)技术特点的新型横向激励兰姆波谐振器研究。该文介绍了基于c轴择优取向氮化铝(AlN)压电薄膜的C波段横向激励薄膜体声波谐振器(XBAR)的结构设计、参数优化和制备方法,并进行了工艺验证。通过剥离和刻蚀等步骤制备了谐振频率4.464 GHz、品质因数3039、品质因数与频率之积(f×Q)达到1.56×10^(13)GHz、面积小于0.12 mm^(2)的低杂波XBAR谐振器,并仿真分析了其用于射频滤波器的可行性。该研究为进一步研制多频率、高集成的小型化XBAR滤波器组件提供了有效的设计技术和工艺技术支撑。
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关键词
压电微机电系统(MEMS)器件
C波段射频滤波器
横向
激励
薄膜体
声
波
谐振器
(
xbar
)
多频率
高集成
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职称材料
压电MEMS兰姆波器件技术的最新进展与展望
被引量:
5
2
作者
于晓权
何杰
马晋毅
《压电与声光》
CAS
北大核心
2022年第2期223-229,233,共8页
兰姆波谐振器(LWR)作为一种新兴的压电微机电系统(MEMS)声学器件,同时具有高工作频率、高机电耦合系数、高品质因数值及低功耗等特点,其制造工艺与集成电路工艺兼容,可在单片晶圆上实现多频率器件。基于LWR的声学滤波器是实现高性能射...
兰姆波谐振器(LWR)作为一种新兴的压电微机电系统(MEMS)声学器件,同时具有高工作频率、高机电耦合系数、高品质因数值及低功耗等特点,其制造工艺与集成电路工艺兼容,可在单片晶圆上实现多频率器件。基于LWR的声学滤波器是实现高性能射频前端组件的有效解决方案之一,能够满足未来通信设备多频率及集成化的发展要求,其相关研究已成为微声器件领域的热点。该文简要介绍了兰姆波的基本原理,综述了近年来基于氮化铝(AlN)薄膜和铌酸锂薄膜(LNOI)的压电MEMS兰姆波器件研究取得的最新成果,并讨论了压电MEMS兰姆波器件的发展趋势。
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关键词
兰姆波
谐振器
(LWR)
压电微机电系统(MEMS)
横向
激励
声
体波
谐振器
(
xbar
)
高次谐波组合模式
谐振器
(CORs)
截面拉梅模式
谐振器
(CLMRs)
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职称材料
题名
C波段横向激励薄膜体声波谐振器设计与制备
1
作者
吴高米
马晋毅
李尚志
司美菊
唐小龙
蒋世义
江洪敏
张祖伟
机构
中国电子科技集团公司第二十四研究所
中电科芯片技术(集团)有限公司
国知创芯(重庆)科技有限公司
出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2024年第3期285-289,共5页
基金
重庆市博士后科学基金资助项目(CSTB2023NSCQ-BHX0030)。
文摘
针对未来移动通信对射频前端器件提出的多频率、高集成新要求,开展了兼具声表面波(SAW)谐振器和薄膜体声波谐振器(FBAR)技术特点的新型横向激励兰姆波谐振器研究。该文介绍了基于c轴择优取向氮化铝(AlN)压电薄膜的C波段横向激励薄膜体声波谐振器(XBAR)的结构设计、参数优化和制备方法,并进行了工艺验证。通过剥离和刻蚀等步骤制备了谐振频率4.464 GHz、品质因数3039、品质因数与频率之积(f×Q)达到1.56×10^(13)GHz、面积小于0.12 mm^(2)的低杂波XBAR谐振器,并仿真分析了其用于射频滤波器的可行性。该研究为进一步研制多频率、高集成的小型化XBAR滤波器组件提供了有效的设计技术和工艺技术支撑。
关键词
压电微机电系统(MEMS)器件
C波段射频滤波器
横向
激励
薄膜体
声
波
谐振器
(
xbar
)
多频率
高集成
Keywords
piezoelectric micro-electro-mechanical systems device
C-band radio-frequency filter
laterally excited bulk acoustic resonator
multi-frequency
high-integration
分类号
TN384 [电子电信—物理电子学]
TN65 [电子电信—电路与系统]
TN713 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
压电MEMS兰姆波器件技术的最新进展与展望
被引量:
5
2
作者
于晓权
何杰
马晋毅
机构
中国电子科技集团公司第二十四研究所
中国电子科技集团公司第二十六研究所
出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2022年第2期223-229,233,共8页
文摘
兰姆波谐振器(LWR)作为一种新兴的压电微机电系统(MEMS)声学器件,同时具有高工作频率、高机电耦合系数、高品质因数值及低功耗等特点,其制造工艺与集成电路工艺兼容,可在单片晶圆上实现多频率器件。基于LWR的声学滤波器是实现高性能射频前端组件的有效解决方案之一,能够满足未来通信设备多频率及集成化的发展要求,其相关研究已成为微声器件领域的热点。该文简要介绍了兰姆波的基本原理,综述了近年来基于氮化铝(AlN)薄膜和铌酸锂薄膜(LNOI)的压电MEMS兰姆波器件研究取得的最新成果,并讨论了压电MEMS兰姆波器件的发展趋势。
关键词
兰姆波
谐振器
(LWR)
压电微机电系统(MEMS)
横向
激励
声
体波
谐振器
(
xbar
)
高次谐波组合模式
谐振器
(CORs)
截面拉梅模式
谐振器
(CLMRs)
Keywords
Lamb wave resonator
piezoelectric micro-electro-mechanical system(MEMS)
laterally-excited bulk-wave resonators(
xbar
)
combined overtone resonators(CORs)
cross-sectional-Lamé-mode resonator(CLMRs)
分类号
TN384 [电子电信—物理电子学]
TN65 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
C波段横向激励薄膜体声波谐振器设计与制备
吴高米
马晋毅
李尚志
司美菊
唐小龙
蒋世义
江洪敏
张祖伟
《压电与声光》
CAS
北大核心
2024
0
下载PDF
职称材料
2
压电MEMS兰姆波器件技术的最新进展与展望
于晓权
何杰
马晋毅
《压电与声光》
CAS
北大核心
2022
5
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职称材料
已选择
0
条
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引证文献
统计分析
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