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高Q值横向激发体声波谐振器的设计与制备
1
作者
张帅
俞振一
+4 位作者
郭瑜
孙宗琴
傅肃磊
许志斌
王为标
《压电与声光》
CAS
北大核心
2024年第2期154-158,共5页
随着5G移动通信时代的发展,射频前端(RF front-ends)的滤波和信号处理迫切需要高频大带宽的声学谐振器。横向激发体声波谐振器(XBAR)具有超高的工作频率和超大的机电耦合系数(k^(2)),但其品质因数(Q)值不高,阻碍了其在射频前端中的应用...
随着5G移动通信时代的发展,射频前端(RF front-ends)的滤波和信号处理迫切需要高频大带宽的声学谐振器。横向激发体声波谐振器(XBAR)具有超高的工作频率和超大的机电耦合系数(k^(2)),但其品质因数(Q)值不高,阻碍了其在射频前端中的应用。该文提出了一种基于ZY切铌酸锂(LiNbO 3)的XBAR谐振器,通过有限元(FEM)仿真对谐振器进行了优化设计,并在微机电系统(MEMS)工艺下对谐振器进行加工。该文所制备的横向激发体声波谐振器A 1模式的谐振频率为4.72 GHz,k 2=26.9%,Q_(3) dB为384,温度频率漂移系数为-60.5×10^(-6)/℃。A_(3)模式的谐振频率为13.5 GHz,k^(2)=4.4%。
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关键词
横向激发
体声波谐振器(XBAR)
品质因数(Q)值
高频
大带宽
5G通信
下载PDF
职称材料
横向激发线偏振高斯光束的非傍轴传输
2
作者
张丽娟
《光学技术》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第z1期598-601,604,共5页
文章提出一种横向激发的任意线偏振高斯光束,该光束场量的模与传统的任意线偏振高斯光束具有相同的模,在源场区,其满足自由空间无源场的场方程。同时利用瑞利—索末菲衍射积分对该高斯光束的非傍轴传输特性进行了解析研究,给出了空间光...
文章提出一种横向激发的任意线偏振高斯光束,该光束场量的模与传统的任意线偏振高斯光束具有相同的模,在源场区,其满足自由空间无源场的场方程。同时利用瑞利—索末菲衍射积分对该高斯光束的非傍轴传输特性进行了解析研究,给出了空间光强分布、束腰和远场发散角的解析通式,发现该类光束的远场光强呈一平顶空心光束。
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关键词
横向激发
任意线偏振高斯光束
空心光束
原文传递
高能核核碰撞中反应系统的纵向扩展与横向激发
3
作者
刘福虎
《核物理动态》
CSCD
1996年第1期23-27,共5页
考虑到高能核核检撞中反应系统的纵向扩展与横向激发,用热化柱图像对簇射粒子的赝快度分布和横动量分布进行了描述,计算结果与CERNSPS能区的实验数据符合.
关键词
核核碰撞
纵向扩展
横向激发
热化柱图像
原文传递
用于射频滤波器的LN单晶薄膜XBAR的性能研究
4
作者
杜如帆
田亚会
+2 位作者
张巧珍
李百川
李红浪
《压电与声光》
CAS
北大核心
2022年第5期678-681,共4页
基于铌酸锂(LN)薄膜的横向激发体声波谐振器(XBAR)能够兼具大机电耦合系数(K_(2))和高谐振频率(f)特性,有望满足5G应用的频段要求。然而,常规LN薄膜单层XBAR结构的温度稳定性较差,频率温度系数(TCF)较低。该文提出一种具有SiO_(2)温度...
基于铌酸锂(LN)薄膜的横向激发体声波谐振器(XBAR)能够兼具大机电耦合系数(K_(2))和高谐振频率(f)特性,有望满足5G应用的频段要求。然而,常规LN薄膜单层XBAR结构的温度稳定性较差,频率温度系数(TCF)较低。该文提出一种具有SiO_(2)温度补偿层的SiO_(2)/LN双层结构XBAR,并建立了精确分析层状结构XBAR的有限元模型。理论分析表明,该双层结构XBAR上激励的主模式是一阶反对称(A1)兰姆波。通过合理优化结构参数配置,能够获得高谐振频率(f~4.75 GHz)和大机电耦合系数(K^(2)~8%),同时其温度稳定性也得到显著改善(TCF~-36.1×10^(-6)/℃),相较于单层XBAR结构提高了近70×10^(-6)/℃,这为研制温补型高频、大带宽声学滤波器提供了理论基础。
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关键词
横向激发
体声波谐振器
温度补偿
大机电耦合
高频
下载PDF
职称材料
题名
高Q值横向激发体声波谐振器的设计与制备
1
作者
张帅
俞振一
郭瑜
孙宗琴
傅肃磊
许志斌
王为标
机构
江南大学物联网工程学院
无锡市好达电子股份有限公司
出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2024年第2期154-158,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(61701195)。
文摘
随着5G移动通信时代的发展,射频前端(RF front-ends)的滤波和信号处理迫切需要高频大带宽的声学谐振器。横向激发体声波谐振器(XBAR)具有超高的工作频率和超大的机电耦合系数(k^(2)),但其品质因数(Q)值不高,阻碍了其在射频前端中的应用。该文提出了一种基于ZY切铌酸锂(LiNbO 3)的XBAR谐振器,通过有限元(FEM)仿真对谐振器进行了优化设计,并在微机电系统(MEMS)工艺下对谐振器进行加工。该文所制备的横向激发体声波谐振器A 1模式的谐振频率为4.72 GHz,k 2=26.9%,Q_(3) dB为384,温度频率漂移系数为-60.5×10^(-6)/℃。A_(3)模式的谐振频率为13.5 GHz,k^(2)=4.4%。
关键词
横向激发
体声波谐振器(XBAR)
品质因数(Q)值
高频
大带宽
5G通信
Keywords
laterally excited bulk wave resonator(XBAR)
quality factor(Q)
high-frequency
large-bandwidth
5G
分类号
TN713 [电子电信—电路与系统]
下载PDF
职称材料
题名
横向激发线偏振高斯光束的非傍轴传输
2
作者
张丽娟
机构
桂林电子科技大学电子工程系
出处
《光学技术》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第z1期598-601,604,共5页
文摘
文章提出一种横向激发的任意线偏振高斯光束,该光束场量的模与传统的任意线偏振高斯光束具有相同的模,在源场区,其满足自由空间无源场的场方程。同时利用瑞利—索末菲衍射积分对该高斯光束的非傍轴传输特性进行了解析研究,给出了空间光强分布、束腰和远场发散角的解析通式,发现该类光束的远场光强呈一平顶空心光束。
关键词
横向激发
任意线偏振高斯光束
空心光束
Keywords
transverse excitated
linearly-polarized Gaussian beam
hollow beam
分类号
O.435 [理学]
原文传递
题名
高能核核碰撞中反应系统的纵向扩展与横向激发
3
作者
刘福虎
机构
山西师范大学物理系
出处
《核物理动态》
CSCD
1996年第1期23-27,共5页
文摘
考虑到高能核核检撞中反应系统的纵向扩展与横向激发,用热化柱图像对簇射粒子的赝快度分布和横动量分布进行了描述,计算结果与CERNSPS能区的实验数据符合.
关键词
核核碰撞
纵向扩展
横向激发
热化柱图像
Keywords
nucleus-nucleus collisions longitudinal extension transverse excitation thermallzed cylinder picture pseudorapidity distribution transverse momentum distri-bution
分类号
O572.21 [理学—粒子物理与原子核物理]
原文传递
题名
用于射频滤波器的LN单晶薄膜XBAR的性能研究
4
作者
杜如帆
田亚会
张巧珍
李百川
李红浪
机构
上海师范大学信息与机电工程学院
中国科学院声学研究所
国家纳米科学中心
出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2022年第5期678-681,共4页
基金
国家自然科学基金青年基金资助项目(11904233)
国家自然科学基金青年基金资助项目(12004413)
北京市科技新星计划资助项目(Z201100006820012)。
文摘
基于铌酸锂(LN)薄膜的横向激发体声波谐振器(XBAR)能够兼具大机电耦合系数(K_(2))和高谐振频率(f)特性,有望满足5G应用的频段要求。然而,常规LN薄膜单层XBAR结构的温度稳定性较差,频率温度系数(TCF)较低。该文提出一种具有SiO_(2)温度补偿层的SiO_(2)/LN双层结构XBAR,并建立了精确分析层状结构XBAR的有限元模型。理论分析表明,该双层结构XBAR上激励的主模式是一阶反对称(A1)兰姆波。通过合理优化结构参数配置,能够获得高谐振频率(f~4.75 GHz)和大机电耦合系数(K^(2)~8%),同时其温度稳定性也得到显著改善(TCF~-36.1×10^(-6)/℃),相较于单层XBAR结构提高了近70×10^(-6)/℃,这为研制温补型高频、大带宽声学滤波器提供了理论基础。
关键词
横向激发
体声波谐振器
温度补偿
大机电耦合
高频
Keywords
laterally excited bulk wave resonator(XBAR)
temperature compensation
large electromechanical coupling
high frequency
分类号
TN384 [电子电信—物理电子学]
TN713 [电子电信—电路与系统]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高Q值横向激发体声波谐振器的设计与制备
张帅
俞振一
郭瑜
孙宗琴
傅肃磊
许志斌
王为标
《压电与声光》
CAS
北大核心
2024
0
下载PDF
职称材料
2
横向激发线偏振高斯光束的非傍轴传输
张丽娟
《光学技术》
CAS
CSCD
北大核心
2006
0
原文传递
3
高能核核碰撞中反应系统的纵向扩展与横向激发
刘福虎
《核物理动态》
CSCD
1996
0
原文传递
4
用于射频滤波器的LN单晶薄膜XBAR的性能研究
杜如帆
田亚会
张巧珍
李百川
李红浪
《压电与声光》
CAS
北大核心
2022
0
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
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